Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 352.72 RON
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Autor: Ulrich Hilleringmann

Limbă:

Legare: Carte broșată

Editura: Springer, Berlin

Disponibilitate: În depozitul extern

Expediem în 8-11 zile

352.72 lei

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Informații despre carte

Autor

Ulrich Hilleringmann

Limbă

engleză

Legare

Carte - Carte broșată

Publicat

2023

Pagini

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Editura

Springer, Berlin

Greutate

524

Dimensiuni

168 x 240

Descriere completă

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Informații despre carte

Descriere completă

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și