Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Name: Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Brand: John Wiley & Sons Inc
SKU: 9780470016084
Price: 1034.25 RON
Availability: InStock

Autor: Hiroyuki Fujiwara

Limbă:

Legare: Copertă tare

Editura: John Wiley & Sons Inc

Disponibilitate: În depozitul extern

Expediem în 10-18 zile

1 034.25 lei

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond...

Informații despre carte

Autor

Hiroyuki Fujiwara

Limbă

engleză

Legare

Carte - Copertă tare

Publicat

2007

Pagini

392

EAN

9780470016084

ISBN

0470016086

Enbook ID

04878436

Editura

John Wiley & Sons Inc

Greutate

762

Dimensiuni

157 x 235 x 26

Descriere completă

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Informații despre carte

Descriere completă

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și