Silizium-Halbleitertechnologie

Name: Silizium-Halbleitertechnologie
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658423773
Price: 202.45 RON
Availability: InStock

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Autor: Ulrich Hilleringmann

Limbă:

Legare: Carte broșată

Editura: Springer, Berlin

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202.45 lei

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroel...

Informații despre carte

Autor

Ulrich Hilleringmann

Limbă

germană

Legare

Carte - Carte broșată

Publicat

2023

Pagini

324

EAN

9783658423773

Enbook ID

43704690

Editura

Springer, Berlin

Greutate

516

Dimensiuni

168 x 240

Descriere completă

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

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