Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Brand: Materials Research Society
SKU: 9781558992900
Price: 134.15 RON
Availability: PreOrder

Autor: Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Limbă:

Legare: Copertă tare

Editura: Materials Research Society

Disponibilitate: Retipărire preconizată

Termenul este necunoscut

134.15 lei

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...

Informații despre carte

Autor

Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Limbă

engleză

Legare

Carte - Copertă tare

Publicat

1995

Pagini

455

EAN

9781558992900

ISBN

1558992901

Enbook ID

02060050

Editura

Materials Research Society

Greutate

795

Dimensiuni

160 x 231 x 30

Descriere completă

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Cele mai căutate

Categories

Authors

Publishers

Produse

Produse

Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Informații despre carte

Descriere completă

S-ar putea să te intereseze

Clienții care au cumpărat această carte au mai cumpărat și