Carte Plasma Etching Minoru Sugawara

Plasma Etching

Fundamentals and Applications

Limbă: engleză
Legare: Copertă tare
Disponibilitate: În depozitul extern
Expediem în 10-18 zile
1 288.05 lei
The focus of this book is on the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio freq...

Informații despre carte

Limbă
engleză
Legare
Carte - Copertă tare
Publicat
1998
Pagini
356
EAN
9780198562870
ISBN
019856287X
Enbook ID
04527765
Greutate
743
Dimensiuni
163 x 242 x 23

Descriere completă

The focus of this book is on the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.

S-ar putea să te intereseze

119.18 lei