Peste 4 milioane de titluri în engleză și alte limbi! Descoperă-ți noua poveste astăzi!

Micro and Nano Fabrication

Name: Micro and Nano Fabrication
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 9783662508268
Price: 457.94 RON
Availability: InStock

Tools and Processes

Autor: Hans H. Gatzen, Volker Saile

Limbă:

Legare: Carte broșată

Editura: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Disponibilitate: În depozitul extern

Expediem în 5-8 zile

457.94 lei

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each...

Informații despre carte

Autor

Hans H. Gatzen, Volker Saile

Limbă

engleză

Legare

Carte - Carte broșată

Publicat

2016

Pagini

519

EAN

9783662508268

ISBN

3662508265

Enbook ID

15201792

Editura

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Greutate

1115

Dimensiuni

155 x 235 x 30

Descriere completă

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.