This volume is a collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. This symposium i ...Descriere completă
This volume is a collection of papers which were presented at the 2001 International Conference on Rapid Thermal Processing (RTP 2001) held at Ise Shima, Mie, on November 14-16, 2001. This symposium is second conference followed the previous successful first International RTP conference held at Hokkaido in 1997. The RTP 2001 covered the latest developments in RTP and other short-time processing continuously aiming to point out the future direction in the Silicon ULSI devices and II-VI, III-V compound semiconductor devices. This book covers the following areas: advanced MOS gate stack, integration technologies, advancd channel engineering including shallow junction, SiGe, hetero-structure, novel metallization, inter-connect, silicidation, low-k materials, thin dielectrics including gate dielectrics and high-k materials, thin film deposition including SiGe, SOI and SiC, process and device modelling, Laser-assisted crystallization and TFT device fabrication technologies, temperature monitoring and slip-free technologies.
O SELECȚIE URIAȘĂ
Peste 4 milioane de cărți în engleză la prețuri avantajoase.
LIVRARE GRATUITĂ
Livrare gratuită la comenzi de peste 300 Lei (Packeta.ro)
PREȚURI AVANTAJOASE
Încercăm să păstrăm prețurile cărților cât mai mici și întotdeauna sub prețul recomandat de editură.
Magazinul nostru a devenit un “Magazin de încredere“ pe baza recenziilor oferite de către clienții noștri reali.
ABORDARE PERSONALĂ
Cel mai important pentru noi este satisfacția Dvs. Vindem cărți deoarece le iubim. Nu suntem giganți transnaționali, ci o companie onestă din Republica Cehă. În plus, cele mai bune cărți au recenzii în blogul nostru.